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GTK150扩散泵高真空系统具体设备的技术参数

发布时间:2022-04-24      点击次数:265

一、机组技术参数

1、机组输入电压:220V/380V

2、波纹管:KF40*1000mm

3、真空挡板阀:KF40

4、机箱尺寸:600*600*600mm

 

二、扩散泵技术参数

 

 扩散泵型号

  TK150

  入口直径

  150mm

  抽气速率L/S(对空气)

  1000L

  建议启动压强

  <10 Pa

  极限压强(Pa)  

  7×10-5

  排气口法兰

  KF40

  功率

  1.2KW

  输入电压频率(V/Hz)

  220V

  环境温度(℃)

  0~40

  前级泵型号

  FX-16

  冷却方式

  水冷

  冷却水温度(℃)

  <25

  安装方式

  垂直

  注油量

  0.3L

  重量(公斤)

  40

  产品型号

  FFX-16

 

三、真空泵参数

扩散泵泵前级真空泵FFX-16  (扩散泵必须要配此前级泵)

功率

  0.75KW

  电压

  380V

  转速

  1450rpm

  进气口径

  KF25/KF40

  前机泵抽气速率(L/S)

  4

  极限压强

  4X10 -2Pa

 

 


四、复合真空计技术参数

复合真空计型号

  ZDF

  电源

  220V 55W

  控制精度

  ± 1%

  真空计测量范围

 10-5 -10 5 Pa

 


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