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CVD管式炉使用注意事项说明

发布时间:2022-05-17      点击次数:429


  1. 冷炉使用时,由于管式炉膛是冷的,须大量吸热,所以低温段升温速率不易过快,各温度段的升温速率差别不易太大,设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质,以免出现喷料现象,污染炉管。炉膛的温度大于等于200摄氏度是,禁止打开炉膛,避免受到伤害。

 

  2. 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好,应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固,避免出现电路故障。

 

  3.CVD管式炉使用或长时间不用后,要在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件及炉体。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属,保持炉内的清洁。

  

    4.设备使用时,炉管内的压力不得超过0.02MPa以防止压力过大造成设备损坏;当炉体的温度高于1000摄氏度时,炉管内不可处于真空状态,炉管内需是常压常压状态,与大气压基本保持一致;在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀、进气阀。若要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的显示值,绝对压力表读书不要大于0.02MPa必须立刻打开排气阀门,以防发生意外。

 

  5. 炉膛若采用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,这叫失透是石英管的一个固有缺陷,属正常现象


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