OTL1200 单温区PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

RTF1200转动式PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

OTL1200-1200双温区PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

OTL1200三温区可调真空CVD系统： 型号：OTL1200-1200-1200 热电偶：K型 加热元件：电阻丝 额定温度：1150℃ 最高温度：1200℃ 温控方式：智能化30段可编程控制

OTL1200单温区CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

OTL1200单温区可调真空CVD双管炉由供气系统+管式炉+抽气系统，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。