OTL1200单温区CVD系统

OTL1200单温区CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。  是由3路供气系统+OTL1200双管式炉+真空系统组成。  

OTL1200单温区CVD系统以进口电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表，能进行40段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。  

(1)、表面温度高可达1420℃  

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。  

(3)、Kanthal电阻丝资料下载  

(4)、Kanthal电阻丝

(5)、电阻均衡、温场均衡性好  

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。   

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出   

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。  

2、采用日本技术成型。  

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本*的热工技术布置、经过热工软件模拟温场  

4、采用4周加热，温场更加均衡