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OTL1200-1200双温区PECVD系统

简要描述:OTL1200-1200双温区PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-03-31
  • 访  问  量:140

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详细介绍

价格区间面议仪器种类管式炉
产地类别国产应用领域环保,化工,石油,电气

OTL1200-1200双温区PECVD系统,由OTL1200真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。  

OTL1200-1200双温区PECVD系统主要特点:  

1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。  

2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。  

3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。  

4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。  

5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx,SiNx,SiOxNy和无定型硅(a-Si:H)等。  

OTL-PECVD-1200-1200双温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、*等优点。  

(1)、表面温度高可达1420℃  

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。  

(3)、Kanthal电阻丝资料下载  

(4)、Kanthal电阻丝网站

(5)、电阻均衡、温场均衡性好  

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。  

炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出  

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。  

2、采用日本技术成型。  

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本*的热工技术布置、经过热工软件模拟温场  

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

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