RTF1200转动式PECVD系统

RTF1200转动式PECVD系统介绍：
(1)、表面温度高可达1420℃  

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。  

(3)、Kanthal电阻丝资料下载  

(4)、Kanthal电阻丝网站：www.kanthal.com  

(5)、电阻均衡、温场均衡性好  

RTF1200转动式PECVD系统该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出  

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。  

2、采用日本技术成型。  

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本*的热工技术布置、经过热工软件模拟温场  

4、采用4周加热，温场更加均衡  

1.为了增加抽气速率，达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25）  

2.如用于供气系统，可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.  

3.转动电机功率:40W  

4.电动推杆功率:40W  

5.炉子倾斜角度:-10~30度  

6.炉管转动速率:采用无级变速电机转速可在1-25转/min之间可调  

7.转动密封方式:采用转动磁流体密封  

8.四周表面温度:≤45℃