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RTF1200转动式PECVD系统

简要描述:RTF1200转动式PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-03-31
  • 访  问  量:125

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详细介绍

价格区间面议仪器种类管式炉
产地类别国产应用领域环保,化工,石油,电气

RTF1200转动式PECVD系统介绍:
(1)、表面温度高可达1420℃  

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。  

(3)、Kanthal电阻丝资料下载  

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com  

(5)、电阻均衡、温场均衡性好  

RTF1200转动式PECVD系统该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出  

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。  

2、采用日本技术成型。  

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本*的热工技术布置、经过热工软件模拟温场  

4、采用4周加热,温场更加均衡  

1.为了增加抽气速率,达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25)  

2.如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.  

3.转动电机功率:40W  

4.电动推杆功率:40W  

5.炉子倾斜角度:-10~30度  

6.炉管转动速率:采用无级变速电机转速可在1-25转/min之间可调  

7.转动密封方式:采用转动磁流体密封  

8.四周表面温度:≤45℃

 

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